激光干涉儀采用光波作為載體，具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、分辨率高的特點。其光波波長可直接定義米級，并可追溯到標準。因此，激光干涉儀廣泛應用于數(shù)控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制和校準、科研開發(fā)、高端設備制造等。

激光干涉儀測量原理。

激光干涉儀一次發(fā)射單頻光束，分解成兩個光束，然后反射回分光鏡，然后匯回激光干涉儀。當光差不變時，激光干涉儀可以在相長干涉和相消性干涉的極點之間找到穩(wěn)定的信號。當光差發(fā)生變化時，計算這些變化，用于測量兩個光程之間的差值。

在陽極和陰極之間的高壓連接下，產(chǎn)生混合氣體產(chǎn)生激光束，通過放大激光強度將某些光傳輸?shù)捷敵黾す狻Ｔ谶@些參數(shù)中，激光管的長度由加熱器控制，使激光定頻率的精度保持在0.05ppm，此時輸出穩(wěn)定，激光可以進行干涉測量。目前，大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀使用氦霓虹激光管，其輸出波長為633納米。

激光干涉儀的頻率、功率、穩(wěn)定性、可靠性、光束質量和壽命等參數(shù)都與激光器的Z終性能有關。激光頻率是激光干涉Z的基本參數(shù)，其頻率(波長)的精度和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保證。

激光干涉儀的發(fā)展歷史。

自1960年以來，梅曼成功研制了第1臺紅寶石激光器，開啟了光學技術飛速發(fā)展的新時代。從此，激光干涉測量廣泛應用于長度、角度、微觀形態(tài)、轉速、光譜等領域，并結合微電子和計算機技術形成現(xiàn)代干涉儀。

Binning和Rohrer于1988年成功研究掃描隧道顯微鏡，并于1986年發(fā)明原子力顯微鏡。從此，干涉儀開始進入納米、亞納米分辨率和精密測量領域。

由于激光具有良好的時間相關性，從出現(xiàn)到現(xiàn)在，激光干涉技術有多種類型：單頻激光干涉、雙頻激光干涉、半導體激光干涉、法布里珀羅(F-P)干涉、x光干涉等。

激光干涉儀是激光Z測量技術的成功應用。它具有非接觸、無損檢測等特點，利用光干涉技術實現(xiàn)測量，已廣泛應用于各個領域。