激光干涉儀采用激光干涉法測量，可快速、高精度測量，可作為校準儀、坐標測量機等定位設備精度和線性指標Z的常用標準儀器，掌握一些激光干涉儀的使用技巧，會事半功倍。

激光干涉儀使用技巧

1、Z軸激光快速瞄準法。

在激光干涉線性測量中，與X.Y軸準直相比，Z軸測量中激光路的準直難度更大。特別是當Z軸距長距角較大時，為了保證激光束通過反射鏡反射回激先探測器，其強度可以滿足光強測量的要求，準直激光路通常需要很長時間。

軸光束快速矯直方法是一種具體的校準方法:Z軸放置在低端，利用激光外殼中間的瞄準槽將分光鏡放置在Z軸上，左右移動Z軸，觀察激光路徑，保證激光轉向后與Z軸大致平行，左右移回Z軸，放置線性反射器和光靶(可以覆蓋在反射或分光鏡上，幫助入眼和控制光路)。

初步調整后的激光干涉系統將分光鏡固定在分光鏡上。通過整體調整光靶精確對準后，取出分光鏡光靶，使Z軸上升，觀察激光對反射光靶的偏離程度。同時，通過尾翼調整，激光對準反射鏡光靶。如果在這個過程中，由于尾翼的調整，分光鏡覆蓋了一些激光，那么Z軸停止上升，回到起始位置，重新調整整體

2、選擇輔助工具。

雖然激光干涉儀的安裝部件相對完整，但在實際使用過程中需要額外配置一些輔助工具：

①開發低高度云臺架。

有些機器的高度基本上與地面平行，所以在測量Z軸時，如果激光器被放置在地面上，激光器被激光干擾，由于三角架本身的高度，將不可避免地失去測量范圍。

②選用磁鐵底座。

磁表底座是激光干涉儀常用的輔助工具。選擇時要注意表座工作面必須有與安裝鏡組安裝桿相匹配的螺孔。主磁吸面位于底部和側面的表座上應選擇兩個(主磁吸面位于底部的用主磁吸面位于底部的表座)。測量時，側吸盤通常有利于激光干涉鏡組的安裝。

3、靈活使用鏡組。

激光干涉儀具有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量元件、直線度測量元件、垂直度測量鏡組、激光準直輔助鏡等。在實際使用中，一些不同功能的鏡組可以相互結合，以滿足測量需要。例如，角度測量鏡組中的反射鏡也可以取代線性測量鏡組中的反射鏡；使用激光準直鏡可以縮短矯直時間。

此外，各種測量鏡組也可用于其他測量工作，通常采用分光鏡或光學直角器，以改變光路，方便測量。這就要求了解儀器的性能，掌握測量技能，在保證測量精度的前提下學習使用。

4、必須配備專用計算機。

激光干涉儀通常與筆記本電腦配套使用，但如果不注意特殊問題，無論是軟件沖突還是計算機病毒，往往會影響測量和使用。